低溫等離子設備

低溫等離子設備物理與技術經歷了一個由60年代初的空間等離子體向80年代和90年代以材料為導向領域的大轉變，高速發展的微電子、環境、能源與材料等，為低溫等離子體發展帶來了新的機遇和挑戰。

現在，低溫等離子設備物理與應用已經是一個具有影響的重要的與工程，對經濟的發展及傳統工業的改造有著巨大的影響。例如，1995年微電子工業的銷售額達1400億美元，而三分之一微電子器件設備采用等離子體技術。塑料包裝材料百分之九十都要經過低溫等離子體的表面處理和改性。家預測：二十一世紀低溫等離子體與技術將會產生突破。據估計，低溫等離子體技術在半導體工業、聚合物薄膜、材料、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領域的潛在市場每年將達一千幾百億美元。

等離子體輔助加工被用來制造特種優良性能的新材料、研制新的化學物質和化學過程，加工、改造和精制材料及其表面，具有   廣泛的工業應用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、微波源。